桌面掃描電鏡從原理上講就是利用聚焦得細(xì)的高能電子束在試樣上掃描，激發(fā)出各種物理信息，通過對(duì)這些信息的接受、放大和顯示成像，獲得測(cè)試試樣表面形貌的觀察。

　　掃描電鏡操作過程

　　1、接通電源，打開掃描電鏡主機(jī)上的開關(guān)(開關(guān)有三個(gè)檔，一檔為關(guān)閉，二檔開啟，三檔為啟動(dòng))啟動(dòng)的時(shí)候把鑰匙放在第三檔大約兩秒鐘松手，掃描電鏡啟動(dòng)，鑰匙自動(dòng)回到第二檔(回到第二檔的原因是防止突然斷電，又突然來電)。

　　2、打開電腦。

　　3、打開電腦桌面上的掃描電鏡操作軟件(打開軟件掃描電鏡真空泵會(huì)自動(dòng)工作，開始抽電子槍與樣品室內(nèi)的空氣。此時(shí)軟件上的“HT”為灰色，真空抽完之后，“HT”會(huì)變成藍(lán)色)。

　　3、點(diǎn)擊掃描電鏡軟件上操作窗口的，此時(shí)在觀查窗口中會(huì)出現(xiàn)一個(gè)新窗口，此窗口中的圖像同樣是放大15000倍的圖數(shù)(消像散調(diào)正的原側(cè)是高倍調(diào)正，低倍拍照)在新的窗口中把圖像放大到30000X。

　　4、按操作臺(tái)上的消像散與對(duì)比度和亮度的切換按鈕，切換到消像散的位置。

　　5、通過旋轉(zhuǎn)旋鈕調(diào)正X、Y軸上的像散(先調(diào)一個(gè)向方再調(diào)另一個(gè)方向)，使圖像調(diào)正清楚的位置。如像散無法調(diào)正到清楚的位置，是因?yàn)橄裆⒁呀?jīng)調(diào)亂了，此時(shí)可以點(diǎn)軟件上操作窗口的“Rest”按鈕恢復(fù)到開始的位置重新校正。桌面掃描電鏡校正完畢后把新窗口中的圖像回到拍照放大倍數(shù)，再進(jìn)行聚焦調(diào)正(此時(shí)是微調(diào))。

　　6、按掃描電鏡操作臺(tái)上的消像散與對(duì)比度和亮度的切換按鈕，切換到對(duì)比度與亮度調(diào)正位置。

　　7、通過多點(diǎn)觸控技術(shù)和新的操作軟件，操作直觀簡單，只需輕觸屏幕就能像操作智能手機(jī)一樣操控各種功能，舒適便捷，新開發(fā)的操作界面簡明易懂，即使是新手也能輕松獲得高品質(zhì)的圖像。